选配模式

摩擦力/侧向力、振幅/相位、磁力/静电力

光学调焦

粗微动手动调焦

力谱曲线

F-Z力曲线、RMS-Z曲线

摄像头

500万像素CMOS传感器

工作环境

空气/液体、惰性气体、加热/制冷环境

显示屏

10.1寸平板显示器，带图像测量功能

XY扫描范围

50×50um，可选20×20um，100×100um

加热装置

温度控制范围室温~250℃(选配)

Z扫描范围

5um，可选2.5um，10um

冷热一体台

温度控制范围-20℃~220℃(选配)

扫描分辨率

横向0.2nm，纵向0.05nm

扫描速率

0.6Hz~30Hz

样品尺寸

Φ≤68mm，H≤20mm

扫描角度

0~360°

样品台行程

25×25mm

运行环境

Windows XP/7/8/10操作系统

光学物镜

5X/10X/20X/50X平场复消色差物镜

通信接口

USB2.0/3.0

光学目镜

10X